Подготовка эталона для SEM не вызывает затруднений, эталон обрезается по определенным размерам (поперечник 10-30 мм), зависимо от устройства крепления эталона. На непроводящие либо плохо проводящие эталоны наносится слой золота, осажденный из паровой фазы. Способ