Электроннолучевой микрозонд, функционирующий на базе фазового дисперсионного анализа рентгеновских лучей, применяется для анализа нетравленных образцов либо для хим анализа структурных компонент на плоской поверхности. Оборудование позволяет выполнить высококачественный