Адсорбция низкомолекулярных веществ из газовой фазы и последующая их полимеризация на поверхности подложки позволяют получать наиболее тонкие покрытия, нередко соизмеримые по толщине с адсорбционными слоями полимеров. Такие покрытия существенно отличаются по структуре и свойствам от обычно получаемых толстых покрытий. Например, в случае кристаллических полимеров в пленках не наблюдается ярко выраженной кристаллической структуры: покрытия, как правило, нерастворимы, отличаются хорошей сплошностью, имеют высокую адгезию, что объясняется хе — мосорбционными процессами.
Тонкие пленки на металлах получают с целью: а) направленного изменения химической природы их поверхности и 6) химической, электрической или другой изоляции. Для получения тонких и сверхтонких покрытий (от долей микрометра до 10 мкм) применяют три способа:
1) полимеризацию органических соединений под дейсгвием электронно-ионной бомбардировки (ускоренных электронов и тлеющего разряда);
2) разложение (эмиссия) полимеров в вакууме с последующей конденсацией и полимеризацией образующихся осколков;
3) пиролитическую полимеризацию циклических соединений.
Все способы находят применение на практике.